悬浮粒子是悬浮在空气中的尘埃粒子，与表面粒子不同（表面粒子是附在设备表面的尘埃粒子）。
众所周知，不同等级的洁净室对悬浮粒子的要求也是不尽相同。所以，企业需要通过检测仪器测试悬浮粒子的浓度。
悬浮粒子计数器
光散射粒子计数器原理：空气中的悬浮粒子在光的照射下产生光散射现象，散射光的强度与悬浮粒子的表面积成正比。 激光粒子计数器原理：空气中的悬浮粒子在激光束的照射下产生衍射现象，衍射光的强度与悬浮粒子的体积成正比。 悬浮粒子测试要点 1.必须按照测试仪器的检定周期，定期对测试仪器做检定。应使用检定合格，且在使用有效期内的仪器。 （1）仪器开机，预热至稳定后,，方可按测试仪器说明书的规定对仪器进行校正，同时检查采样流量和等动力采样头。 （2）采样管口置于采样点采样时，在计数趋于稳定后，开始连续读数。 （3）采样管必须干净，严禁渗漏。 （4）采样管的长度应根据仪器的允许长度。除另有规定外，长度不得大于1.5m。 （5）粒子计数器采样口和仪器工作位置宜处在同一气压和温度下，以免产生测量偏差 悬浮粒子测试规则
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